微納CT就是工業CT的一種，是測量更精密的一種設備，三個主要組件是X射線源，旋轉控制臺和檢測器。微納CT可以以二維斷層圖像或三維圖像的形式清晰，準確，直接地顯示被檢對象的內部結構和組成，而不會損壞被檢對象。 材料和缺陷被稱為較好的無損檢測技術。
 

　　微納CT的分辨能力是關鍵性能指標。包括：空間分辨率：指從CT圖像中區分最小物體的能力。濃度分辨率：這是使用圖像的灰度來區分被檢物體的材質的基本方法(因為灰度直接反映了濃度)。空間分辨率和密度分辨率之間的關系。在一定輻射劑量的情況下，空間分辨率和密度分辨率是兩個矛盾的指標。
 

　　微納CT性能指標：

　　1、檢測范圍：主要描述ICT的檢測對象。如果能夠傳遞鋼的最大壁厚，則可以檢測出鋼零件的最大車削直徑，鋼零件的最大高度或長度以及鋼零件的最大重量。

　　2、所用射線源：X射線能量，工作電壓，工作電流和焦距。

　　3、ICT掃描方法：可以使用哪些掃描方法，是否具有數字射線照相檢測或實時成像功能等。

　　4、掃描檢測時間：指掃描獲取斷層數據的采集時間。還包括圖像重建時間。